1 刀具涂層
慧(hui)聰表(biao)面(mian)處理網:刀(dao)(dao)具(ju)(ju)表(biao)面(mian)涂層技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)是(shi)應(ying)市場需求而發展起來的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)項優質(zhi)表(biao)面(mian)改性技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu),由于該項技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)可(ke)使(shi)切(qie)(qie)削刀(dao)(dao)具(ju)(ju)獲得(de)優良的(de)(de)(de)(de)(de)綜合(he)機(ji)械性能(neng),不僅可(ke)有效(xiao)地提高刀(dao)(dao)具(ju)(ju)使(shi)用壽命(ming),而且(qie)還能(neng)大幅度地提高機(ji)械加工(gong)效(xiao)率,因(yin)此該項技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)已與材料、加工(gong)工(gong)藝并稱為切(qie)(qie)削刀(dao)(dao)具(ju)(ju)制造的(de)(de)(de)(de)(de)三大關鍵技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)。為滿足現(xian)代機(ji)械加工(gong)高效(xiao)率、高精(jing)度、高可(ke)靠(kao)性的(de)(de)(de)(de)(de)要求,世界各國(guo)都十分注(zhu)重涂層技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)發展。目前(qian)我(wo)國(guo)刀(dao)(dao)具(ju)(ju)涂層技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)發展正(zheng)處在一(yi)個十分關鍵的(de)(de)(de)(de)(de)時(shi)刻,尤其是(shi)PVD涂層技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu),一(yi)方(fang)面(mian)原有的(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)已不能(neng)滿足切(qie)(qie)削加工(gong)日益變化的(de)(de)(de)(de)(de)要求;另(ling)一(yi)方(fang)面(mian)國(guo)內各大工(gong)具(ju)(ju)廠(chang)涂層設備已到了必須(xu)更(geng)新(xin)換(huan)代的(de)(de)(de)(de)(de)時(shi)期,因(yin)此有計劃、按步驟(zou)的(de)(de)(de)(de)(de)發展PVD技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu),不僅能(neng)促進我(wo)國(guo)切(qie)(qie)削刀(dao)(dao)具(ju)(ju)產(chan)品(pin)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)水平的(de)(de)(de)(de)(de)提高,而且(qie)還可(ke)獲得(de)巨(ju)大的(de)(de)(de)(de)(de)經濟效(xiao)益和社會效(xiao)益。
2 國際刀具(ju)涂層技術的現(xian)狀(zhuang)及發展(zhan)趨勢
刀具涂(tu)層(ceng)技術目前(qian)仍可劃分為兩大類,即CVD(化學(xue)氣相沉積)和PVD技術(物理氣相沉積)。
2.1 國(guo)際CVD技術的發展
CVD 技術自上世紀(ji)六十(shi)年代(dai)出現以(yi)來,在(zai)硬質合金(jin)可(ke)(ke)轉位刀具上得到(dao)(dao)(dao)了(le)極(ji)為(wei)廣(guang)泛的(de)(de)應用。在(zai)CVD工(gong)藝中(zhong)(zhong),氣相(xiang)沉積所需(xu)金(jin)屬(shu)源的(de)(de)制備相(xiang)對(dui)容易(yi),可(ke)(ke)實現TiN、 TiC、TiCN、TiBN、TiB2、Al2O3等單層(ceng)(ceng)(ceng)及多元多層(ceng)(ceng)(ceng)復合涂(tu)(tu)(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng),其涂(tu)(tu)(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)與(yu)基體結合強(qiang)度(du)(du)高,薄(bo)膜厚度(du)(du)可(ke)(ke)達7~9μm,相(xiang)對(dui)而言,CVD涂(tu)(tu)(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)具有更好的(de)(de)耐磨(mo)性(xing)。八(ba)十(shi)年代(dai)中(zhong)(zhong)后(hou)期(qi),美(mei)國(guo)85%的(de)(de)硬質合金(jin)工(gong)具采用了(le)涂(tu)(tu)(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)處(chu)理,其中(zhong)(zhong)CVD涂(tu)(tu)(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)占到(dao)(dao)(dao)了(le)99%;九(jiu)十(shi)年代(dai)中(zhong)(zhong)期(qi),CVD涂(tu)(tu)(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)硬質合金(jin)刀片在(zai)涂(tu)(tu)(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)硬質合金(jin)刀具中(zhong)(zhong)仍占到(dao)(dao)(dao)了(le)80%以(yi)上。但CVD工(gong)藝也有其先(xian)天性(xing)的(de)(de)缺陷,一(yi)是工(gong)藝處(chu)理溫度(du)(du)高,易(yi)造成(cheng)刀具材料抗(kang)彎強(qiang)度(du)(du)的(de)(de)下降;二是薄(bo)膜內部為(wei)拉應力狀(zhuang)態(tai),使(shi)用中(zhong)(zhong)易(yi)導致(zhi)微裂紋的(de)(de)產生;三是CVD工(gong)藝所排放的(de)(de)廢氣、廢液(ye)會造成(cheng)工(gong)業污染,對(dui)環境(jing)影響較大,與(yu)目(mu)前所提倡的(de)(de)綠色工(gong)業相(xiang)抵觸,因此九(jiu)十(shi)年代(dai)中(zhong)(zhong)期(qi)后(hou)高溫CVD 技術的(de)(de)發展(zhan)受到(dao)(dao)(dao)了(le)一(yi)定的(de)(de)制約。
八十(shi)年代末Krupp Widia開發(fa)的PCVD(低(di)溫(wen)化學氣相(xiang)沉積)技術達到(dao)了實(shi)用(yong)(yong)水平,其工藝(yi)處理溫(wen)度已降至450℃~650℃,有效地抑制了η相(xiang)的產生,可進(jin)行(xing)TiN、TiCN、TiC等涂層,用(yong)(yong)于(yu)螺紋刀具(ju)、銑刀、模(mo)具(ju)等,但到(dao)目前為止(zhi) PCVD工藝(yi)在刀具(ju)涂層領(ling)域內的應(ying)用(yong)(yong)并不十(shi)分廣(guang)泛。
真正引起CVD技術發生(sheng)突(tu)變的(de)(de)(de)是九(jiu)十年代中(zhong)(zhong)期新(xin)型MT-CVD(中(zhong)(zhong)溫(wen)化學氣相沉(chen)積(ji)(ji))技術的(de)(de)(de)出現。新(xin)型MT-CVD是以含C/N的(de)(de)(de)有(you)機物乙腈(CH3CN)為主要反應(ying)氣體(ti)和TiCL4、H2、N2在700~900℃下產(chan)生(sheng)分解(jie)、化學反應(ying),生(sheng)成TiCN的(de)(de)(de)一種新(xin)方法,可(ke)獲得致密纖維狀(zhuang)結(jie)晶形態的(de)(de)(de)涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng),涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)厚度可(ke)達8~10μm。這種涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)結(jie)構具有(you)極高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)(de)耐(nai)磨損(sun)性(xing)、抗熱(re)震性(xing)及韌性(xing),并可(ke)通過HT-CVD(高(gao)(gao)(gao)溫(wen)化學氣相沉(chen)積(ji)(ji))工(gong)藝(yi)技術在表層(ceng)(ceng)沉(chen)積(ji)(ji)上Al2O3、TiN等抗高(gao)(gao)(gao)溫(wen)氧化性(xing)能好(hao)(hao)、與被加(jia)工(gong)材料(liao)親和力(li)小、自潤滑(hua)性(xing)能好(hao)(hao)的(de)(de)(de)材料(liao)。MT- CVD涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)刀片適合于高(gao)(gao)(gao)速、高(gao)(gao)(gao)溫(wen)、大(da)負(fu)荷、干式切削條件下使(shi)用,其壽命可(ke)比普通涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)刀片提高(gao)(gao)(gao)1倍(bei)左右(you)。
從目前的(de)發展(zhan)來(lai)看(kan),CVD工藝(包(bao)括MT-CVD)主要(yao)用于(yu)硬質(zhi)合金車削類刀具(ju)(ju)的(de)表面涂層(ceng),其(qi)(qi)涂層(ceng)刀具(ju)(ju)適合于(yu)中型、重型切削的(de)高速粗加(jia)工及半(ban)精加(jia)工,尤其(qi)(qi)是α- Al2O3涂層(ceng)是目前PVD技(ji)術(shu)所難以實現的(de),因此在(zai)干式切削加(jia)工中,CVD涂層(ceng)技(ji)術(shu)仍占有極其(qi)(qi)重要(yao)的(de)地位。
2.2 世界PVD技術的發展
PVD技(ji)術(shu)出現(xian)于(yu)上世紀七十(shi)年代(dai)(dai)末期,由(you)于(yu)其工(gong)藝(yi)(yi)處理(li)溫度(du)可(ke)控制在500℃以下,因此可(ke)作為(wei)最終(zhong)處理(li)工(gong)藝(yi)(yi)用于(yu)高(gao)速鋼類刀具的涂(tu)(tu)層。PVD工(gong)藝(yi)(yi)可(ke)大幅度(du)提高(gao)高(gao)速鋼刀具的切削(xue)性能,所以該項(xiang)技(ji)術(shu)在八(ba)(ba)十(shi)年代(dai)(dai)得到(dao)迅速推(tui)廣應用。八(ba)(ba)十(shi)年代(dai)(dai)末工(gong)業(ye)發達(da)國家復雜高(gao)速鋼刀具PVD涂(tu)(tu)層比(bi)例(li)已(yi)超過了(le)60%。
PVD技(ji)術(shu)在(zai)高(gao)速(su)鋼刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)領域(yu)的(de)(de)(de)成功應(ying)(ying)用(yong),引(yin)起了世界各(ge)國(guo)的(de)(de)(de)高(gao)度(du)重視,人們在(zai)競相開(kai)發(fa)高(gao)性能、高(gao)可(ke)(ke)靠性涂層設備的(de)(de)(de)同時,也對(dui)其應(ying)(ying)用(yong)領域(yu)的(de)(de)(de)擴大(da)進行了更加深入的(de)(de)(de)研(yan)究,尤其是(shi)在(zai)硬(ying)(ying)質(zhi)(zhi)合金、陶瓷類刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)領域(yu)中(zhong)的(de)(de)(de)應(ying)(ying)用(yong)。與(yu)CVD工(gong)藝相比,PVD工(gong)藝處(chu)理(li)溫(wen)度(du)低,在(zai)600℃以下(xia)對(dui)刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)材料的(de)(de)(de)抗彎強(qiang)度(du)沒(mei)有影(ying)響(見表1試驗(yan)結(jie)果);薄膜內(nei)部為(wei)壓應(ying)(ying)力(li),更適合于(yu)硬(ying)(ying)質(zhi)(zhi)合金精(jing)密復雜類刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)的(de)(de)(de)涂層;PVD工(gong)藝對(dui)環(huan)境沒(mei)有不利影(ying)響,符合目前(qian)綠(lv)色工(gong)業的(de)(de)(de)發(fa)展(zhan)方向;此外,隨著(zhu)高(gao)速(su)切削加工(gong)時代(dai)的(de)(de)(de)到來,高(gao)速(su)鋼刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)應(ying)(ying)用(yong)比例的(de)(de)(de)下(xia)降,硬(ying)(ying)質(zhi)(zhi)合金、陶瓷刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)應(ying)(ying)用(yong)比例的(de)(de)(de)上升已成為(wei)必(bi)然,因此工(gong)業發(fa)達國(guo)家自九十(shi)年(nian)代(dai)初(chu)就(jiu)開(kai)始致力(li)于(yu)硬(ying)(ying)質(zhi)(zhi)合金刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)PVD涂層技(ji)術(shu)的(de)(de)(de)研(yan)究,九十(shi)年(nian)代(dai)中(zhong)期,硬(ying)(ying)質(zhi)(zhi)合金刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)PVD涂層技(ji)術(shu)已取得了突破性的(de)(de)(de)進展(zhan),并普遍用(yong)于(yu)硬(ying)(ying)質(zhi)(zhi)合金立銑刀(dao)(dao)(dao)(dao)、鉆頭、階梯(ti)鉆、油(you)孔鉆、鉸(jiao)刀(dao)(dao)(dao)(dao)、絲錐、可(ke)(ke)轉位銑刀(dao)(dao)(dao)(dao)片、異形刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)、焊接刀(dao)(dao)(dao)(dao)具(ju)(ju)等的(de)(de)(de)涂層處(chu)理(li)。
目前PVD技(ji)術不(bu)僅提高了(le)薄膜與刀(dao)具基體材料的(de)結(jie)合強度,涂(tu)層(ceng)(ceng)成分也由第一代的(de)TiN發展到(dao)了(le)TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、 TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx等多種多元復(fu)合涂(tu)層(ceng)(ceng),且由于(yu)納米級涂(tu)層(ceng)(ceng)的(de)出(chu)現(見圖2、3ZX涂(tu)層(ceng)(ceng),即TiN-AlN涂(tu)層(ceng)(ceng)),使得 PVD涂(tu)層(ceng)(ceng)刀(dao)具質量又(you)有(you)(you)了(le)新的(de)突破,這種薄膜涂(tu)層(ceng)(ceng)不(bu)僅結(jie)合強度高、硬(ying)度接近CBN、抗氧化性能好,并可有(you)(you)效地控(kong)制精密刀(dao)具刃口形狀及精度,在進行高精度加工(gong)時,其加工(gong)精度毫不(bu)遜色于(yu)未(wei)涂(tu)層(ceng)(ceng)刀(dao)具。
平(ping)均抗彎強度(MPa)
硬質合金牌號 未(wei)涂(tu)層 涂(tu)層(300℃) 涂(tu)層(600℃) 涂(tu)層(700℃)
M20 2109 2266 2129 2059
M30 2285 2469 2370 1894
表1 不同(tong)溫(wen)度下(xia)PVD涂層對(dui)硬質合金材料(liao)抗彎強度的影響⑴
從(cong)目前涂(tu)(tu)層技術(shu)的發(fa)展(zhan)來看(kan),由于單一涂(tu)(tu)層材料無法滿(man)足(zu)對刀具綜(zong)合(he)機械性能(neng)的要求,現已(yi)難以被市場所(suo)接受(shou),涂(tu)(tu)層成分(fen)向(xiang)多元(yuan)化(hua)發(fa)展(zhan)已(yi)成為(wei)(wei)必然趨(qu)勢;為(wei)(wei)滿(man)足(zu)不同(tong)的切削加工要求,涂(tu)(tu)層成分(fen)會(hui)更(geng)為(wei)(wei)復雜、更(geng)具針對性;每單層成分(fen)也會(hui)越來越薄(bo),并(bing)逐步趨(qu)于納米(mi)化(hua);涂(tu)(tu)層溫度(du)會(hui)愈(yu)來愈(yu)低;刀具涂(tu)(tu)層工藝則會(hui)向(xiang)更(geng)合(he)理方向(xiang)發(fa)展(zhan),預(yu)計PVD、MT-CVD工藝將會(hui)成為(wei)(wei)主流。
序號 時間 涂層成分 涂層方法 主要應用領(ling)域
1 1968年 TiC、TiN CVD 硬(ying)質合金刀具、模(mo)具涂層
2 1973年 TiCN、TiC+Al2O3 CVD 硬質(zhi)合金刀具、模具涂層
3 1979年 TiN PVD 高速鋼刀(dao)具涂層
4 1981年 TiC+Al2O3+TiN、 CVD 硬質合金刀具涂層
Al-O-N
5 1982年 TiCN MT-CVD 硬質合金刀(dao)具涂層
6 1984年 TiCN PVD 硬質合金(jin)、高速鋼銑刀(dao)、鉆頭類(lei)刀(dao)具涂(tu)層
7 1986年(nian) Diamond、CBN CVD、PVD 硬質合金刀具(ju)涂層
8 1989年(nian) TiAlN PVD 硬質(zhi)合金銑(xian)刀類涂(tu)層用于鋼、鑄鐵加工
9 1990年 TiN、TiCN、TiCP CVD 用于模具、螺紋刀(dao)具、銑刀(dao)等(deng)
10 1991年 TiAlN+CrC PVD 車、銑削鈦合金
11 1993年(nian) TiN+TiCN(CVD)+TiN(PVD) CVD+PVD 硬質合金銑削(xue)類刀具
12 1993年(nian) CrN PVD 用于鈦合金、銅合金加工(gong)
13 1994年 MoS2 PVD 用于高(gao)速鋼復雜(za)刀具涂層
14 1995年 TiN-AlN PVD 硬質合金(jin)銑刀片涂層
15 1996年(nian) 厚(hou)膜纖維狀TiCN MT-CVD 硬質合金車削類(lei)刀具涂層 粗(cu) 半(ban)精加工
16 1996年 CNx CVD、PVD 已可(ke)用(yong)于高(gao)速鋼刀(dao)具(ju)涂(tu)層
17 2000年 TiAlCN PVD 硬(ying)質合金刀(dao)片涂(tu)層
表2 主要涂層工(gong)藝發展時段及應用領(ling)域
3 我國刀(dao)具(ju)涂層(ceng)技術發展狀況
3.1 我國CVD技術的發展(zhan)
我國(guo)CVD涂(tu)層技(ji)術(shu)(shu)(shu)的(de)(de)研究(jiu)起源于(yu)七十(shi)年(nian)(nian)(nian)(nian)代初(chu),由于(yu)該(gai)項(xiang)技(ji)術(shu)(shu)(shu)的(de)(de)專用性強,國(guo)內(nei)從(cong)事其(qi)研究(jiu)的(de)(de)單位(wei)并不(bu)太(tai)多(duo)。八(ba)十(shi)年(nian)(nian)(nian)(nian)代中期(qi)國(guo)內(nei)CVD刀(dao)具(ju)涂(tu)層技(ji)術(shu)(shu)(shu)達(da)到實(shi)用化,其(qi)工藝(yi)技(ji)術(shu)(shu)(shu)與國(guo)際(ji)水(shui)平(ping)(ping)相當(dang);在隨后十(shi)多(duo)年(nian)(nian)(nian)(nian)里與國(guo)際(ji)上的(de)(de)發展類似(si),較為緩慢;九(jiu)十(shi)年(nian)(nian)(nian)(nian)代末(mo)期(qi),國(guo)內(nei)開始(shi)(shi)MT-CVD的(de)(de)研究(jiu)工作,預計(ji)該(gai)項(xiang)工藝(yi)及裝備的(de)(de)研究(jiu)工作2001年(nian)(nian)(nian)(nian)內(nei)可(ke)以完成(cheng),屆時設備及工藝(yi)技(ji)術(shu)(shu)(shu)將達(da)到目前國(guo)際(ji)先進水(shui)平(ping)(ping)。我國(guo)PCVD技(ji)術(shu)(shu)(shu)的(de)(de)研究(jiu)始(shi)(shi)于(yu)九(jiu)十(shi)年(nian)(nian)(nian)(nian)代初(chu),該(gai)項(xiang)工藝(yi)技(ji)術(shu)(shu)(shu)主要(yao)應用于(yu)模具(ju)涂(tu)層,在刀(dao)具(ju)領域(yu)內(nei)的(de)(de)應用,目前也還不(bu)十(shi)分廣泛。總體上講,國(guo)內(nei)CVD技(ji)術(shu)(shu)(shu)與國(guo)際(ji)水(shui)平(ping)(ping)相差不(bu)大,如果MT-CVD技(ji)術(shu)(shu)(shu)開發成(cheng)功(gong),整體技(ji)術(shu)(shu)(shu)將會與國(guo)際(ji)先進水(shui)平(ping)(ping)保持同步。
3.2 我國PVD技術的發展(zhan)
我(wo)國(guo)PVD涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)研(yan)發工作(zuo)始于(yu)(yu)八十(shi)(shi)(shi)年(nian)(nian)代初,八十(shi)(shi)(shi)年(nian)(nian)代中期研(yan)制成功中小型空心(xin)陰極離(li)子鍍(du)膜機(ji)及(ji)高速鋼刀(dao)(dao)具TiN涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)工藝技(ji)(ji)術(shu)(shu)。與(yu)此同時(shi),由(you)于(yu)(yu)對刀(dao)(dao)具涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)市場前(qian)(qian)(qian)景的(de)看好,國(guo)內(nei)大(da)(da)型工具廠有(you)七(qi)家(jia)引進(jin)了(le)大(da)(da)型PVD涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)設(she)(she)備,并(bing)(bing)均以(yi)高速鋼TiN涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)工藝為主。進(jin)口技(ji)(ji)術(shu)(shu)及(ji)設(she)(she)備的(de)引進(jin),調動(dong)了(le)國(guo)內(nei)PVD技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)開發熱潮,國(guo)內(nei)各大(da)(da)真空獲得(de)設(she)(she)備廠及(ji)眾多(duo)(duo)的(de)科研(yan)單(dan)(dan)位紛紛展開了(le)大(da)(da)型離(li)子鍍(du)膜機(ji)的(de)研(yan)制工作(zuo),并(bing)(bing)于(yu)(yu)九十(shi)(shi)(shi)年(nian)(nian)代初開發出(chu)多(duo)(duo)種PVD設(she)(she)備。但由(you)于(yu)(yu)大(da)(da)多(duo)(duo)數的(de)設(she)(she)備性(xing)能指標差,刀(dao)(dao)具涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)工藝無(wu)法保證,再(zai)加上預期的(de)市場效(xiao)益(yi)也未能實(shi)現,致(zhi)使大(da)(da)多(duo)(duo)數單(dan)(dan)位放(fang)棄了(le)PVD刀(dao)(dao)具涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)技(ji)(ji)術(shu)(shu)進(jin)一步的(de)研(yan)究工作(zuo),因此導致(zhi)近十(shi)(shi)(shi)年(nian)(nian)里國(guo)內(nei)刀(dao)(dao)具PVD涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)技(ji)(ji)術(shu)(shu)處于(yu)(yu)徘徊不前(qian)(qian)(qian)的(de)局面。盡(jin)管九十(shi)(shi)(shi)年(nian)(nian)代末國(guo)內(nei)成功開發出(chu)了(le)硬質合(he)金TiN-TiCN-TiN 多(duo)(duo)元復(fu)合(he)涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)工藝技(ji)(ji)術(shu)(shu),并(bing)(bing)達到了(le)實(shi)用水平,CNx涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)技(ji)(ji)術(shu)(shu)也有(you)了(le)重大(da)(da)突破,但與(yu)國(guo)際(ji)水平相(xiang)比,我(wo)國(guo)刀(dao)(dao)具PVD涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)技(ji)(ji)術(shu)(shu)大(da)(da)概(gai)落后了(le)十(shi)(shi)(shi)年(nian)(nian)左右。目前(qian)(qian)(qian)國(guo)外刀(dao)(dao)具 PVD技(ji)(ji)術(shu)(shu)已(yi)發展到了(le)第四代,而國(guo)內(nei)尚處于(yu)(yu)第二代的(de)水平,且仍以(yi)單(dan)(dan)層(ceng)TiN涂(tu)(tu)(tu)層(ceng)為主。